Оптические материалы и технологии

Систематическим экспериментальным сравнением различных методов измерения параметров пленок доказываются cyп^ccтвcнныe преимущества волноводных методик измерения. 5.4. Оборудование для полноводных измерений Несмотря на существенные в рядевамсных случаев ареиму1г(е- ства волноводных методов измерения параметров топких пленок их широкое практическое использование охраничивается отсутстви­ ем соответствующих средств измерений в нашей стране. Опубликоваиныерезультаты по волноводным методикам свя­ заны с использованием лабораторных установок, укомплектован­ ных в основном универсальным стандартным оборудованием. За рубежом выпускается специализированный прибор. Фирма Metricom Corporation сообщила о разработке нового призменпо- г о измерительного прибора, сочетающего в себе высокоточные рефрактометрические и полноводные методы измерения парамет­ ров пленок и волноводных образцов. Измеритель вюлючаст из­ мерительный блок, адаптер для сопряжения с ЭВМ и программ­ ные продукты обработки результатов. Прибор позволяет измерять одновременно толнщпу и пока­ затель преломления одно- и двухслойных пленок. Он может ис­ пользоваться как обычный автоматизированный рефрактометр Аббедля измерения показателя преломления объемных o6pa:ino]i без применения токсичных иммерсионных жидкостей. Иместс5( воя- можиость проводить измерения толлщн в диапазоне 0,2 -150 мкм на длинах волн 400-1500 им у пропускающих и нолупронускаю- щих пленок. 5.5. Оборудование для техпроцессов вакуумного нанесения пленок Для исследования и измерения параметров топкоплепочных покрытий используют универсальное оборудование • микроигп ер- ферометры, рефлексометры, эллиисомегры, спектрофотометры. Для 4 4 5