Оптические материалы и технологии

Для данного участка пленки ZnS показатель преломления, вы­ численный по множеству ТЕо- и ТЕ|-мод, немного больше, чем опре­ деленный из измерений ТМ-мод на величину в пределах 0,002-0,003. Для пленок диоксида циркония это различие более значитель­ но (приблизительно 0,013); для ТМ-мод более высокого порядка это различие уменьшается. В контрасте с напыленными пленками ТагОз можно отметить незначительные отличия результатов измерения для ТМ- и ТЕ-мод. Результаты измерений для ТЕ-мод использу­ ются далее для сравнения с рефлексометрическим и эллипсомет- рическим методами. Ряд пленок из различных материалов, напыленных на синте­ тические кварцевые подложки, измеряются этими тремя методами. Приблизительно те же участки каждой пленки используются для измерений различными методами, точное соответствие обеспечи­ вается с учетом размера пучка света в различных оптических систе­ мах. Близкое соответствие измерений толщины показано в табл. 3.6, где каждая величина для пленок ZnS и TajOs представлена усред­ ненной по пяти различным ее точкам. Таблица 3.6 Сравнение измерений толщины Метод измерения Пленка волновод- рефлексо- эллипсо- профило- ный метрический метрическии метрический Толщина пленок, нм ZnS 344 340 346 349 TsjOs 433 436 432 431 Сравнение точности измерения показателя преломления на длине волны 633 нм приведено в табл. 3.7. Таблица 3.7 Сравнение погрешности измерения показателя иреломлепия различными методами Типичные случай­ ные погрешности Методы измерения волноводный рефлексо- метрический эллипсо- метрический ТЕ ТМ ±0,001 ±0,001 ±0,005 +0,01 444