Оптические материалы и технологии

вычисленными коэффициентами отражения и измеренными непо­ средственно рефлексометрически очень хорошее. Различие по ве­ личине меньше 0,001. Профилометрия. Толщина пленок определяется измерени­ ем ступеньки, образованнойпленкой на подложке, с использова­ нием профилометра PRI Talystep. Суть метода - перемещение ме­ ханического щупа (иглы) по поверхности измеряемой детали и измерение каким-либо способом относительного смещения иглы в зависимости от ее координаты. Для различных пленок с тол­ щиной в диапазоне от 10 до 200 нм показано, что точность изме­ рения толщины Talystep находится в пределах 1 нм, как и при использовании высокочувствительных интёрферометрических систем. Волноводная техника. Принципы волноводного метода изме­ рения показателя преломления и толщины тонких пленок описаны в разд. 5.1, схема измерения представлена на рис. 3.31, 3.34. 5.3. Анализ погрешностей методов Для изучения чувствительности волноводного метода пленка окиси цинка измеряется в одном месте для четырех различных мод измерения Не-Келазера = 633 нм). Воздушный зазор для получе­ ния слабой связи регулируется для отдельных мод. Данные, приве­ денные в табл. 3.5, демонстрируют прекрасную воспроизводимость результатов техники измерений. Для ТМ-мод получены менее со­ гласованные результаты по сравнению сТЕ-модами: общее изме­ нение показателя пр еломления для сочетания разных пар мод нахо­ дится для показателя преломления в пределах 0,0025. Таблица 3.5 Результаты волноводиых измерении пленки сульфида цинка Парымо д п (1, н м 0-1 2,3322 655,4 1-2 2,3321 655,6 2-3 2.3323 655,3 1-3 2,3322 655,4 Примечание. Подложка-стекло; =0,633 нм; ТЕ-моды 443