Оптические материалы и технологии

лую интегрирующую сферу2(0^50 мм), плоское алюминиевое зер­ кало 3. Этот комплект фотоприемников может поворачиваться вок­ руг оси XX, что позволяет установить два положения, при которых падающий пучок попадает прямо на детектор в положении i и пос­ ле отражения от тестируемого образца 4 в положении 2. Таким способом поддерживаются две позиции установки - та же длина пути светового пучка и то же положение детекторов. Интегриру­ ющая сфера минимизирует влияние небольших смещений геомет­ рии схемы. Источники света (лампа накаливания и дейтериевая лампа) позволяют перекрывать диапазон длин волн от 220 до 670 нм. Поляризующий эффект призм монохроматора мал, степень поляризации излучения, падающего на образец, не выше несколь­ ких процентов. При таких малой поляризации падающего пучка и угле падения его на образец около 10° измеренные значения коэф­ фициента отражения незначительно отличаются от значения при нормальном падении. Показатель преломления и толщина пленки определяются обычным способом из максимумов и минимумов на кривой зависи­ мости коэффициента отражения от длины волны. Для сравнения результатов, полученных рефлексометрическим способом, с други­ ми техниками, величина преломления вычисляется по простой дис­ персионной формуле Коши для длин волн, использованных в вол- новодных и эллипсометрических измерениях. Из проверки линейности и тестовых измерений следует, что ошибка измерения коэффициента отражения не превосходит ±0,0015 для величины коэффициента отражения более 0,4. Систематические ошибки и в рефлексометрии, и в эллипсомет- рии обнаруживаются и исследуются сравнением этих систем при измерении полупрозрачных золотых пленок. Для широкого диапа­ зона показателей преломления пленок это соответствует погреш­ ности в величине показателя преломления приблизительно +0,005. >птические константы золотых пленок определяются для различ- •ых волн эллипсометрическим методом и рефлектометрическим способом при нормальном падении. Соответствие между этими 4 4 2