Оптические материалы и технологии

лизатора осуществляются вручную по шкалам каждого, имеющего цену деления дуги 0,01. Поляризующая и анализирующая кальцитовые призмы используются для выбора минимума эллиптичности прошед­ шего поляризованного пучка. Измерения проводятся со световым пуч­ ком диаметром 2 мм, падающим на тестируемую поверхность под углом 65°, на длинах волн 633 нм He-Ne- лазера и 546 и 436 им, выре­ занных интерференционным фильтром из спектра ртутной лампы сверхвысокого давления. Необходимо применять меры для миними­ зации влияния ширины щели эллипсометра (одна из них: величины эллипсо метрических параметров определяются считыванием в четы­ рех зонах). С уче1-ом всех погрешностей, схемы и методики измерения, погрешности измерения А и у не превосходят с высокой степеныо ве­ роятности величины ±0,05 и ±0,02, соответственно. Соответствующие погрешности определения величины показателей преломления и тол­ щины пленок изменяются сложным образом для различных образцов. Для описанных пленок, взятых для исследования, типичные погреш­ ности определения величины показателя преломления ±0,001, толщи­ ны ±2 нм, в предположении, что пленка - совершенный диэлектри­ ческий слой. С возрастанием толщи­ ны пленки эллипсометрические па- Положение 2 раметры изменяются циклически, возвращаясь к величине, соответ­ ствующей пленке без подложки при толщине тХ/2/2| COS0I, где m- целое. Рефлексометрия. Измерения коэффициента отражения пленок, нанесенных на подложку, прово­ дятся с использованием простого по схеме рефлексометра. Принци­ пиальная схема прибора показана на рис. 3.35. Излучение от при- зменного монохроматора фокуси­ руется на фотоприемных ячейках, содержащих кремниевый фото­ приемник, фотоумножитель 1, ма­ Положение 1 Рис. 3.35. Оптическая система д л я измерения о т р аже н и я пленок н а подложке (рефлексометр): I - фотоумножитель; 2 - интегрирующая сфера;5 - плоское алюминиевое зеркало; - тестируемый образец 441