Оптические материалы и технологии

блюдения зависит от качества пленки. Для пленок с потерями ме­ нее 50 дБ/см~' трек света дожен быть видимым, что позволяет точно определить положениевозбуждения моды. При возбуждении одновре­ менно нескольких мод они рассеиваются в пленке, что приводит к по­ явлению модовых линий на расположенном соответствующим обра­ зом экране 1 (рис. 3.34). Этот модовый спектр позволяет определить медовые углы с большой точностью, в частности для пленок с боль­ шими потерями, когда пучок модв волноводе не наблюдается. Наряду с углами возбуждения волноводных мод определяется угол нормального падения пучка света источника на рабочую грань призмы. Это осуществляется вращением столика гониометра и ав­ токоллимационной схемы: светоделитель 8 - отражатель 9 - теле­ скопическая система 10. Для определения точности волноводного метода измерения и анализа ошибок проводятся измерения пленок сульфида цинка (ZnF), n-i = 2,332,1 = 350 нм на стеклянной подножке, Нз = 1,457 с рутило- вой призмой ввода {Пр = 2,865) на рабочей длине волны X = 633 нм. Погрешности величин показателя преломления подложки и при­ змы ±0,0001. Такая погрешность исходных данных приводит к по­ грешности определения показателя преломления и толщины плен­ ки-0,0001 и 0,1 нм, соответственно, подобное влияние на погреш­ ность результатов измерения имеет рабочий угол призмы 0,001. Дальнейшие вычисления с той же комбинацией пленка-подлож­ ка показывают, что угол падения светового пучка на призму ввода при возбуждении мод должен определяться с погрешностью не хуже 0,01, если ожидаемая погрешность показателя преломле­ ния пленки не должна превышать 0,0001. Эллипсометрия. Эллипсометрические параметры Л и у пленок измеряются на фотоэлектрическом эллипсометре. Две охлаждаемые водой ячейки модулятора Фарадея располагаются: одна в поляризую­ щем, другая - в анализирующем плече эллипсометра, каждая ячейка вращает плоскость колебаний линейно-поляризованного света в пре­ делах ±1,5'. Сигналы этих частот обрабатываются в двух электронных каналах, выходной постоянный сигнал в качестве обратной связи по­ дается на фарадеевскую ячейку компенсатора. Угловой сдвиг ±7' про­ исходит автоматически, большие углы поворота поляризатора и ана­ 440