Оптические материалы и технологии

контроля толщины слоев в процессе их нанесения используют фо­ тометрический и частотный методы. Описание, а также техничес­ кие характеристики приборов, работающих на принципе частотно­ го метода (по сути механического), приведены в разд. 5.2. Системы фотометрического контроля толщины пленки СФКТ~751В и СФКТ-751И предназначены для контроля оптичес­ ких толщин пленок, образующих покрытия в процессе их нанесе­ ния на вакуумных установках типа°ВУ-1А, ВУ-2М. Контроль мо­ жет производиться в режимах пропускания и отражения. Технические характеристики СФКТ-751В СФКТ - 7 5 1И Спектральный диапазон, мкм 0,2-1,1 0,8-2,6 Относительное отверстие монохроматора 1:5,5 1:5,5' Фокусное расстояние, м м 277,3 277,3 Впеосепой угол параболоида 19°10' 19°10' Число ре!1лик 2 1 Размер заштрихованной части, м м 6 0 x 6 0 6 0 x 6 0 Рабочая высота щелей, м м 5 3 Диапазон раскрытия щелей, м м 0-2.2 0-2,2 Источник излучения - лампа КГМ-70 КГМ9-70 11рисм!1ик лучистой энергии ФЭУ-39Л; ФЭУ-62; Фотосопротив­ ФЭУ-100 ление Потребляемая мощность, кВт 0,6 0,6 Масса, к г 130 125 Задачи создания оптических покрытий различного вида (заищтных, отражающих, поляризационных, фильтрующих и др.) с заданными предельными качественными характеристиками тре­ буют совершенствования и разработки соответствующих средств измерений, поиска новых методов измерений. 5.6. Контроль харак геристик оптических покрытий После получения оптического покрытия его подвергают кои- TpojHo по оптическим и эксплуатационным параметрам не ранее чем 446