Оптические материалы и технологии

Таблица 3.4 Bcj |H<IHIH>I измеренных модовых постоянных Номер моды, т пш Подложка 1,51325 3 1,51344 2 1,51392 1 1,51463 0 1,51550 Измерения параметров пленок на рефрактометре Аббе. Пока­ затель преломления пленки достаточно большой толщины может быть непосредственно измерен на фиксированной длине волны с помощью рефрактометра Аббе. Для тонких пленок возможен дру­ гой метод, также использующий полихроматический источник све­ та и моиохроматор, но основанный на выводе волноводных мод с помощью призмы, встроенной в коммерческий рефрактометр Аббе. Метод обладает большой точностью из-за условий наблюдения линии в рефрактометре (совмещение тонкого перекрестия с т-ли- ниями, наблюдаемыми в поле зрения прибора). Рефрактометр в обычном режиме используется для определения показателя прелом­ ления подложки и модовых постоянных распространения пленки. Эти величины считываготся со шкалы прибора и пересчитываются для рабочей длины волны. На рис. 3.33 приведена экспериментальная установка. Реф­ рактометр с волноводом, соединенным с его рабочей призмой 5, вращается вокруг точки ввода малой вспомогательной высоко- преломляющей призмы 4. На эту точку проектируется щель мо- иохроматора с помощью ахромата 2. Соответствующим измене­ нием угла ф; добиваются возбуждения волноводных мод. При этом может возбудиться более одной моды волновода. Выходя­ щие из волновода излучения мод наблюдаются в поле зрения реф­ рактометра в виде ярких резких линий на темном фоне. Опти­ мальная резкость линий регулируегся величиной силы f , прижима­ ющей образец к призме 5 с помощью микрометрического винта. Для здентификации ТЕ- и ТМ-мод используется поляризатор 7. Эффективные показатели преломления мод п,„ измеряются иаве- 436