Оптические материалы и технологии

пленке образца осуществляется при фокусировке излучения ла­ зера (X - 0,63 мкм) объективом 4 непосредственно на торец илеи- ки. Возможность возбуждения мод ТЕ- и ТМ-типов обеснсчива- ется изменением ориентации плоскости поляризации света, вво­ димого в пленку, с помощью последовательно расположенных чет­ вертьволновой пластинки 2 и поляроида 3. Для уменьшения доли рассеянного света в поле зрения зрительной трубы 7 левый торец измерительной призмы зачерняют. На рис. 3.32, б показана кар­ тина возбужденных ТЕ-мод для типичного планарного волново­ да, наблюдаемая в окуляр зрительной трубы рефрактометра. f\ 1 — 1 iJ 2 2 4 ! 1о«лож1са Рис,3.32. Измерение параметров пленок с помощью рсфрактомстра Пульфриха: а - схема экспериментальной устапопки: 1 - He+Ne лазер; 2 • - че-тсртьполчопая плаа иика; 3 - поляроид; 4 - фокусирующий объектив; S - образец; б- шмсрительная црияма; 7 •- зрительная труба (5-7- рефрактометр ИРФ-23); б - спектр полпонодных мод, наблюда­ емых в поле зрения рефраетометра ИРФ-23 (граница спстлого ноля соотнстстнуег показа­ телю преломления подаожки световода; т - индекс моды) В табл. 3.4 приведены результаты измерений эффективных показателей преломления мод диффузного планарного волновода, полученные с помощью отсчетного устройства рефрактометра и прилагаемых к прибору градуировочных таблиц. Хорошо видно, что моды с небольнюй разницей эффектив1ц,1Х показателей нре)юм- ления легко различаются и идентифицируются. Абсооиотная norpeni- ность метода измерения и„, не превышает 3-10 Простота описан­ ного метода, оперативность и доступное технологическое обеспе­ чение обусловливает практичностъ его применения при измерени­ ях параметров пленок (планарных волноводов), п том числе ди­ электрических градиентных пленок. 43.")