Оптические материалы и технологии

дением перекрестия на соответствующуют-линию. Аббе-рефрак- тометр может также в этой схеме использоваться для измерения по­ казателя преломления подложки щ. Пленки с большим показате­ лем преломления играют в этом случае роль иммерсионной жидко­ сти. Для длин волн, отличающихся от X = 589,3 им {D - линия Na), считанные со шкалы значения п,„ должны корректироваться с учетом дисперсии рабочей призмы 5. При этом используется таблица из комплекта рефрактометра. С помощью оптической на­ садки 8 можно добиться возможности считывания величины п,„ с четырьмя цифрами. Если в волноводе возбуждалось более двух мод, то вычисления Пг и t проводят для разных комбинаций пар мод, а затем вычисляют средние значения и стандартные откло­ нения АЙ2 И At. Независимость t от длины волны X наряду с малостью АЙ2 И At дает количественный тест достоверности ре­ зультатов метода измерения параметров пленки волноводным ме­ тодом. Из измеренных значений «„,ТЕ-мод получают погрешно­ сти показателя преломления Д«2< 10"^ и относительную погреш­ ность толщины - At/t < 10"^. _ а 6 ^ 3, в F i Рис. 3.33. Измерительная установка д л я измерения м о д о в ы х показа­ телей преломления: а - схема измерительной установки: 1 - монохроматор; 2 "ахромат/'= 100 мм; 3 - во1шовод; 4 - призма внода; 5 - призма рефрактометра 6; 7 - поляризатор; (J, я - детальное изображение оптических компонент для измерения модовых пока­ зателей преломления п„ н схема измере­ ния fii соответственно; оптическая насадка; У-диффузор 437