Оптические материалы и технологии

ДЛ2 4* S-IO- 2-10"^ м о - 510- 2.10" i = О, m i = 0,m = 2 30 60 90 Если измерить постоянные распространения, например, двух мод порядков i и т, то можно определить показатель преломления пленки и ее толщину, решая систему нелинейных уравнений (3.73). Ошибка определения по­ казателя преломления пленки для трех возможных комбина­ ций i и т графически представ­ лена на рис. 3.30 с учетом ре- • зультатов, полученных, из уравнения (3.73). Видно, что самое низкое значение Д«2 по­ лучают выбором для измере­ ний основной и распростра- ^ няющейся мод высшего по- 120Лф„угл.мин. рядка. При работе с точнос­ тью Дф(= 0,016° показатель преломления может быть оп­ ределен с точностью Диг луч­ ше 2-10"^, что в большинстве случаев может быть достаточ­ но (например, в случае применения метода угла Брюстера (метод Абелеса) при измерении показателя преломления пленки погреш­ ность АП2 ~ 10"^). В основе методики лежат волноводные свойства диэлектричес­ кой пленки на диэлектрической подложке, показатель преломления которой меньше показателя преломления пленки. Процесс измере­ ния применим как к пленке со скачкообразным, так и с плавным из­ менением показателя преломления, а также к пленкам, обладающим анизотропными свойствами. Минимальная толщина пленки должна быть примерно равна или быть больше половины рабочей длины волны, показатель преломления пленки должен быть на 0,001 ...0,00001 больше показателя преломления подложки и покровного слоя. Измерительная установка включает следующие средства из- • мерений: источник излучения (лазер ЛГ-126), гониометр (Г-5), по­ ляризатор (ПФ-42), измерительную призму, прижимное устрой­ ство (струбцина). Рис. 3.30. Ошибка определения показателя преломления пленки: Лп2 - ошибка измерения показателя преломления пленки; Дф;- ошибка измерения угла ввода; (А'Ы=5";АИр= Ю-': «2=1,5) 430