Оптические материалы и технологии

Описание метода измерений. Световая волна, возбужденная в волноводе, распространяется согласно зигзагообразной модели под вполне определенными углами. Поэтому световой луч вводится в волновод или выводится из него устройством ввода (например, при­ змой) также под определенными углами. Эти углы определяются, прежде всего, показателем преломления материала пленки и ее тол­ щиной. Измерив эти углы, можно рассчитать величину показателя преломления и толщину пленки. Термин «диэлектрический волновод» товдественен термину диэлектрическая пленка на подложке с учетом указанного ограни­ чения на величину показателя преломления Определение вида и характера измерений. Измерению подле­ жат углы ввода световых лучей, соответствующих распространяю­ щимся в волноводе световым волнам (волноводным модам), отсчи­ танные от положения нормали к выводящей грани призмы. Изме­ ряют углы, например, с помощью гониометра по прилагаемой к прибору методике. Величину углов призм, углов отсчета нормали к грани при­ змы и углов ввода световых лучей измеряют с точностью, которую гарантирует гониометр ГС-5 (+ 5"). С точностью измерения углов связана точность вычисления параметров пленки. Функциональная схема измерительной системы приведена на рис. 3.31. Рис. 3.31. Функциональная схема измерительной установки: 1 - источник излучения; 2 - поляризатор; 3 - измерительная призма; 4 - образец; 5 - прижимное устройство; б - анализатор; 7-зрительная труба гониометра; 8 - столик гониометра 431