Оптические материалы и технологии

Рис. 3.25. Общий в и д вакуумной усгагговки ВАК-ббО Технические характеристики Время дост ижения давления 2,6 • Ю "* Па, мии, не более 18 Максимальное число подложек 0 50 мм па арматуре 152 Полезная площадь напыления,м ' 0,94 Скорость вращения подколпачной арматуры, с ' О 0,3 Диапазон температуры нагрева подложек, °С 80- -350 Число резистивных испарителей 1 Максимальная мощность РИ, кВт 4 Число электроино-лучевых испарителей 2 Расход холодной воды при давлении (2 -f 8) 10^ Па и темпе­ ратуре 5-20 °С, л/с 0,24 Расход горячей воды при давлении (2 -ь 8) 10^ Па и темпе­ ратуре 80-90 °С, л/с 0,09 Расход жидкого азота, кг/ч б Сжатый воздух давлением. Па (5 8) 10^ 421