Оптические материалы и технологии

Средний расход ЖИДК010 азо га, M V C (3 -?• 12) • 10 Buy jpeiinHc 1'абарит11ые размеры камеры, мм 0 SOO х 640 Общая площадь, занимаемая установкой, м^ jQ Максимальная по требляемая мощность, кВ г 4 Масса, кг I 2^ q Вакуумныеустановки ВАК-ббОиВАК-760 (фирма «Бальцерс», Лихтспгитейи) предназначены для термического напыления метал­ лов, диэлектриков, полупроводниковых материалов в электронике и оптике, имеют встроенную ЭВМ, позвотющую автоматизиро­ вать процесс напыления. Фотографии общего вида установок В А К - 7 6 0 и ВАК - б бО при­ ведены на рис. 3.24 и 3,25. Рис. 3.24. Общий вид вакуумной установки ВАК-760 420