Оптические материалы и технологии

Расход горячей воды при давлении (3 5) 10^ Па и темпера­ т у р е 80-90 °С, л/с 0,06 Средний расход жидкого азота, M V C (3 1 2 )I О"' Вну'фенние габаритные размеры камеры, мм 0 700 х 770 Максимальная потребляемая мощность, кВт 25 Общая площадь, занимаемая установкой, 5,5 Масса, кг 2200 Вакуумная установка У-343 предназначена для ионно-лучевой обработки (ионной очистки, асфермзации, зональной ретуши) оп­ тических деталей диаметром до 650 мм с помощью ионного источ­ ника типа «Кауфман». Система с числовым программным управле­ нием (ЧПУ) обеспечивает координатное перемещение детали и уп­ равление ионным пучком. Технические характеристики Предварительное давление в камере с арматурой. Па, не более 1,33410 ' Диапазон регулирования рабочего давления в камере при напуске технологического газа. Па (2,66 + 1,33) 10"' Наибольший ход стола с деталью, мм 350 Диапазон скоростей перемещения стола: линейной, мм/с 0-83 угловой,об/с 0-8,3 Диапазон диаметров ионного пучка, регулируемых дискретно диафрагмами, мм 20-50 Наибольший диаметр обрабатываемой детали, мм 650 Энергия ионного пучка, кэВ до 3,5 Сила тока ионного пучка (по аргону), мА до 30 Точность формы по среднеквадратичной погрешности на диаметре 500 мм, Л до 0,01 Внутренние габаритные размеры камеры, мм 1234 х 782 х 640 Расход холодной воды при давлении (3 + 5) 10^ Па и темпера­ туре 5-20 °С, л/с 0,14 Расход горячей воды при давлении (3 * 5) 10^ Па и темпера­ туре 80-90 "С, л/с 0,06 Средний расход жидкого азота, M V C ( 5 -F- 10) 10"^ Максимальная потребляемая мощность, кВт 24 Общая площадь, занимаемая установкой, 34 Масса, кг 3950 418