Оптические материалы и технологии

Число ионных источников типа «ПРИМА» 5 Максимальная мощносгь ионного источника, кВт 4 Диапазон длин волн измерения интегрального коэффициента пропускания слоя хрома, мкм 0,4-1,0 Диапазон измерения интегрального коэффициента нронуека- ния слоя хрома, % 0,5 100,0 Расход холодной воды при давлении (3 + 5) 10^ Па и темпера­ туре 5-20 °С, л/с 0,9 Расход горячей воды при давлении (3 -г 5) 10' Па и гемпсра- туре 60-90 "С, л/с 0,4 Сжатый воздух давлением. Па (4 6) 10^ Внутренние габаритные размеры рабочей камеры (2 шт.), мм 2400 х 160 х 700 Максимал1.ная потребляемая мощность, кВт ' 50 Общая площадь, занимаемая установкой, 40 Масса, кг 4500 Вакуумная установка ЛУ-ЯЯОЯ предназначена для ионной п иоино-химической обработки оптических деталей диаметром до 500 мм с помощью сеточного электрода с одновременным интерференционным контролем величины С7>ема материала в процессе обработки (ионное травление, асферизация, зональная ретушь). Технические характеристики Предварительное давление в камере с арматурой, Па, не более 1 • i О ' Диапазон регулирования рабочего давления н камере нри нанускс технологического газа, Па 0,67-6,70 Диапазон частоты вращения арматуры, с ' 0,5-1,0 Максимальный диаметр ионного пучка в зоне обработки,м м 500 Возможность одновременной обработки ионным пучком дс1алей диаметром, шт.: 500 мм 1 200 мм 3 100 мм 5 70 мм ! I Максимальная плотность разрядного тока ионного ист очника, мЛ/см'- 1,17 Неравномерность скорости обработки оптической детали диаметром 450 мм, %, не более 5 Расход холодной воды при давлении (3 •}- 5) 10^ Па и темпера­ туре 5-20 °С, л/с 0,14 417