Оптические материалы и технологии

Число подложек 0 3 5 0 мм па арматуре 4 Полезная площадь напыления, м^ 1,33 Частота врангсиия подколпачной арматуры, с ' 0,1 -О,? Число элсктродуговых испарителей 1 Число высокоточных генератороп с источником питания 1 Число линейных ионных источников типа «Кауфман» 1 Число элсктродуговых источников типа «Булат» 1 Число электронно-лучевых испарителей 2 Максимальная мощность ЭЛИ, кВт 10 Время достижения в камере давления, .мин, не 6oJ<ee: • Ю Ш а 15 - 5 - 1 0 ' П а 30 - 1 - 1 0 Т 1 а 60 Система фотометрического контроля СФКТ-А, СФКТ-АМ Спектралы1ый диапазон, мкм 0,2-1,1 Расход холодной в о ды при давлении (3 -г 5) 10' и темпера­ т у р е 5-20 "С, л/с -0,45 Расход горячей в о ды п р и давлении (3 5) 10' и темпера­ т у р е 80-90 °С, л/с 0,30 Средний расход жидкого азота, MVc (10 30)10 ' Сжатый воздух давлением. Па (4 6) 10' Bnyrp'eiHHie габаритные размеры камеры, мм 0 I ООО х 950 Максимальная потребляемая мощнос ть, кВт 45 Обн;ая площадь, занимаемая установкой, м^ 10 Масса, к г 4000 Вакуумная установка ВУ~«Растр» с автоматическим управ­ лением откачкой предназначена для нанесения хрома на стеклян­ ные подложки растровых мер других металлов на плоские опти­ ческие детали, Технические характеристики Рабочее лавле1Н1е и камере. Па 1 - 1 0 ^ Время достижения давления 1 • 10 ^ Па, мин, не более 15 Число подложек, устанавливаемых в кассетьг • - ншриной 10 и длиной 2200 мм 20-25 " ши р ин о й 38 и длиной 2200 мм 5-7 Скорость перемеп1ения заготовок, регулируемая в пределах, мм/с ! -20 Число испарителей (магнетронных) 2 Максимальная монщость магнсфона, кВ т 20 416