Оптические материалы и технологии

Технические характеристики Оптимальное давление рабочего газа при работе источника ионного ассистирования, Па 8 • 10 '-г5 • 10 ^ Время достижения давления 7 • 10"* Па мин, не более 30 Максимальное число подложек 0 4 0 мм на арматуре 90 Полезная площадь напыления, м^ 0,65 Частота вращения подколпачной арматуры,с ' 0.1-1,0 Диапазон температуры нагрева подложек, °С 50-320 Число резистивных испарителей (РИ) 1 Максимальная мощность РИ, кВт 3,6 Число ЭЛИ 2 Максимальная мощность ЭЛИ, кВт 12 Число ионных источников АИДА 1 Максимальное значение силы ионного тока, А ' 0,75 Максимальная плотность ионного тока, мА/см^ 3 Средняя расчетная энергия ионов, эВ 20-120 Габаритные размеры источника, мм 140 х 185 х 220 Масса источника (без блока питания),к г 8 Система фотометрического контроля СФКТ-751В Спектральный диапазон, мкм 0,25-1,10 Расход холодной водопроводной воды при давлении (3 -г 5) 10^ Па и температуре 5-20 "С, л/с 0,14 Расход горячей воды при давлении (3 5) 10' Па и темпера­ туре 80-90 °С, л/с 0,06 Средний расход жидкого азота, M V C (3+12) 10' Сжатый давлением воздух. Па (4 -ь 6) 10' Внутренние габаритные размеры камеры, мм 0 700 х 770 Максимальная потребляемая мощность, кВт 33 Общая площадь, занимаемая установкой, м^ 6 Масса, кг 2100 Вакуумная установка ВУ-«Алмаз» предназначена для нанесе­ ния просветляющих и защитных покрытий нулевой группы меха­ нической прочности и алмазоподобных покрытий с одновременным кварцевым и фотометрическим контролем толщины покрытий. Технические характеристики Диапазон регулирования давления в камере при напыле­ нии, Па Диапазон регулирования давления технологического газа при ионно-лучевой обработке, Па Число подложек 0 1 5 0 мм на арматуре 415 1 . 10 ' v 5 - 10^ I • 10' +8 . 10' 22