Оптические материалы и технологии

ВИЯМ проведения технологического процесса, так как происходит анализ сигнала рабочей характеристики. Он позволяет при необхо­ димости определять не только толщины слоев, но и их показатели преломления. Кроме того, с помощью предварительных вычисле­ ний можно, изменяя длину волны зондирующего излучения, менять масштаб контролируемых толщин, т.е. контролировать «иечетверть- волновые» для заданной длины волны слои. Таким образом, наиболее перспективным методом является контроль толщин слоев по экстремумам прозрачности. Этот метод в соответствии с изложенной моделью контроля позволяет полу­ чать высокую точность фиксации оптической толщины каждого слоя, что и обеспечивает получение как высокого качества интер­ ференционных покрытий, так и высокой воспроизводимости резуль­ татов при многократном использовании технологического процес­ са. В остальном автоматизация работы вакуумной установки в це­ лом, т.е. управление откачкой, испарителями и т.д., остается без изменений. Несколько подробнее остановимся на реальном случае час- TPj4H0H автоматизации процесса испарения на вакуумной установ­ ке ВУ-1А . Эта установка, серийно выпускаемая в Белоруссии, име­ ет общую релейную автоматизацию процесса откачки вакуумного объема и нагрева подложек для нанесения покрытий. Сам же про­ цесс нанесения покрытия предоставляется оператору, которому необходимо при нанесении каждого слоя наблюдать за процессом испарения и одновременно следить за ходом изменения прозрач­ ности контрольного образца и определить момент прекращения испарения, т.е. наиболее ответственные операции технологичес­ кого процесса. С целью упрощения работы с установкой в процес­ се нанесения покрытия и увеличения точности фиксации экстре­ мумов прозрачности при контроле толщин выход цифрового вольт­ метра, отображающего значение прозрачности растущей пленки в данный момент времени, был подан через согласующее устрой­ ство АЦСКС в компьютер. Для исключения флуктуаций сигнала оценка пропускания производится измерением 30 последовательных точек временного интервала при постоянной скорости конденсации 396