Оптические материалы и технологии

и построением методом наименьших квадратов параболической за­ висимости Т a-^b-h+c-h^. По мере роста пленки число точек пост­ роения зависимости сохраняется постоянным и по мере ввода но­ вых точек, описывающих текущее значение толщины, отбрасыва­ ются все точки с номерами iV-30, где N - номер точки текущего измерения. Такой алгоритм описания значений прозрачности по­ зволяет исключать шумовую составляющую и легко находить зна­ чение экстремума функции прозрачности поуказанной модели. Сле­ дует учесть, что такая методика представления текущих результа­ тов изменения прозрачности позволяет в каждой измеряемой точке прогнозировать время появления искомого экстремума. Наличие такого предсказания позволяет резко снизить ошибку в толщине слоя. Именно этот аспект предложенного решения и является наи­ более важным и существенным. Кроме значения оптической тол­ щины по величине экстремумов прозрачности несложно найти и среднее значение показателя преломления нанесенного слоя. Эта до­ полнительная операция позволяет оценить и качество нанесенного слоя по сравнению полученного показателя преломления с задан­ ным значением для испаряемого материала. Однако очень больших точностей в этом случае ожидать нельзя, так как возможна неодно­ родность слоя (некоторый градиент показателя преломления по тол­ щине), которую такая методика не определяет, так как в этом слу­ чае фиксируется только интегральное среднее по всему слою. Если необходимо четко фиксировать градиент показателя преломления, то приходится существенно усложнять основной алгоритм и выпол­ нять оценочные вычисления показателя преломления на каждом уча­ стке из выделенного набора. Указанная методика позволяет фикси­ ровать значение оптической толш,ины с точностью не хуже 0,1% и такой же воспроизводимостью. Поддержание постоянного уровня скорости испарения материала, что особенно важно и сложно при электронно-лучевом испарении, управление сканированием элект­ родного луча по поверхности испарения производится компьюте­ ром по специальной программе. При достижении нужного экстре­ мума прозрачности растущей пленки управляющая программа вы­ рабатывает сигнал прерывания испарения, перекрывая поток па­ 397