Оптические материалы и технологии

не всегда решается достаточно успешно. Например, точная фикса­ ция температуры покрываемой поверхности оказывается практи­ чески невозможной, так как требует использования сложнейшего и очень объемного оборудования, включая и ЭВМ с достаточно боль­ шой оперативной памятью. При расширении допусков на парамет­ ры технологического процесса система упрощается, но зато падает воспроизводимость результатов, что ставит под сомнение необхо­ димость использования такого автомата. Практически оказывает­ ся, что использование автоматических установок вакуумного нане­ сения покрытий с использованием кварцевых датчиков толщины реально возможно только для небольшого числа технологических процессов и только в условиях большой серии', когда один и тот же предельно хорошо отработанный технологический процесс неогра­ ниченно повторяется. В условиях производства с меняющейся но­ менклатурой или в лабораторных условиях использование таких автоматов нецелесообразно. Все указанные недостатки кварцевого контроля относятся к изготовлению покрытий для видимой облас­ ти спектра и с небольшим числом слоев. При увеличении числа сло­ ев в покрытии или увеличении толщин слоев, что соответствует пе­ реходу в инфракрасную область спектра, в работе кварцевых изме­ рителей толщины проявляется нелинейность характеристик, что ведет к появлению дополнительных ошибок в толщинах слоев и ухудшению качества изготовления интерференционных покрытий. После выяснения всех особенностей создания автоматических установок на основе контроля с применением кварцевого резона­ тора специалисты перешли к созданию автоматов на основе опти­ ческого контроля. Степень автоматизации этих установок различ­ на, от простейшей и довольно грубой методики установления по­ чти постоянной величины «перепыления» до полной автоматиза­ ции всего процесса нанесения с помощью передачи управления ус­ тановкой ЭВМ. Безусловно, использование микропроцессора для комплектации вакуумной установки обходится значительно доро­ же, но зато достигается значительно большая точность фиксации и значительно лучшая воспроизводимость от процесса к процессу. Как уже указывалось, оптический контроль менее чувствителен к усло- 395