Оптические материалы и технологии

проведение подобных исследований оказывается весьма полез­ ным при разработке технологии конкретных интерференционных по­ крытий, так как позволяет заранее представить ход изменения толщи­ ны слоев покрьп'ия и смещение спектральной характеристики при выно­ се покрытой оптической детали из вакуумного объема на воздух. Создание автоматизированных установок для получения мно­ гослойных интерференционных покрытий. В в ак у умных установках западных фирм, оснащенных кварцевыми датчиками толщины и скорости осаждения (скорость роста толщины в этом случае явля­ ется просто производной от изменения толщины по времени), свя­ занных с микропроцессором, по определенным программам произ­ водится нанесение покрытия. При этом жестко фиксируются основ­ ные условия проведения процесса (давление остаточных газов, тем­ пература подложек, скорость испарения). Микропроцессор по про­ грамме полностью управляет всем процессом нанесения, включая смену испарителей и поддержание режима их питания. При этом в качестве исходных данных в микропроцессор закладываются все необходимые параметры процесса. Как правило, все эти устройства многопрограммны, причем соответствующие программы разрабо­ таны заранее и, таким образом, какое-либо вмешательство в рабо­ ту автомата исключается. Функция оператора при этом упрощает­ ся. Ему вменяется в обязанность заложить заготовки оптических деталей в вакуумную камеру, включить ее и набрать шифр необхо­ димой программы. После окончания процесса выгрузить получен­ ные детали с покрытием и передать их на контроль. Несмотря на кажущуюся простоту работы такого автомата, широкого распространения они все же не получили. Прежде всего, предусмотретьзаранее в программахвсю широту номенклатуры оп­ тических интерференционных покрытий практически невозможно, а следовательно, невозможно добиться действительно хороших ре­ зультатов от жестко запрограммированных автоматов. В связи с этим некоторые автоматические установки для нанесения покрытий в ва­ кууме позволяли дополнительное свободное программирование ра­ боты. Второй серьезной трудностью доя работы этих автоматов была необходимость очень жесткого контроля параметров процесса, что 394