Оптические материалы и технологии

в относительных единицах представлен на рис. 3,19, на котором четко выделяются четыре области: область 1 - собственно нанесе­ ние пленки и обычное изменение прозрачности подложки с плен­ кой по синусоидальному закону; область 2 ~ выдержка нанесенной пленки при непрерывной откачке установки. Изменения в этой об­ ласти медленны и соответствуют как процессам перестройки обра­ зовавшейся структуры к равновесному значению, так и процессам остывания, что приводит к изменению толщины пленки. Разделе­ ние этих процессов не проведено. Область 3 - полная изоляция ваку­ умной камеры. В этой области продолжаются процессы остывания и добавляется сорбция водяных паров, десорбирующихся со стенок вакуумной камеры. Изменения в этой области невелики, так как ос­ новное остывание происходит в области 2, а сорбция мала, поскольку содержание водяных паров востаточной атмосфере мало. Область напуск атмосферного воздуха в вакуумный объем. При напуске ат­ мосферного воздуха происходит резкое охлаждение пленки и значи­ тельная сорбция паров воды в порах пленки и на ее поверхности. Если в области 3 изменения невелики (малое уменьшение оптической тол­ щины пленки), то в области 4 эти изменения значительны. Мотн.ед) 1000 • О 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120130 140 150 1050 г(мин) Рис. 3.19. Эволюция прозрачности тонкой пленки в вакуумной камере после нанесения Если осуществляется повторная откачка вакуумного объема, то наблюдаются обратимые изменения, связанные с десорбцией воды на поверхности пленки. Эти изменения относительно невелики. 393