Оптические материалы и технологии

основного рабочего параметра оптических покрытий, будет наибо­ лее перспективным. Развивавшаяся ранее методика контроля по изменению периода колебаний кварцевого резонатора в любом слу­ чае должна была соответствовать калибровке именно по оптичес­ ким характеристикам, что сильно осложняло ее применение и за­ ставляло проводить значительную работу, как при разработке по­ крытия, так и по строгой фиксации параметров всего процесса на­ несения покрытия в условиях производства. Эволюция тонкой пленки непосредственно после ее изготовле­ ния. При изготовлении тонкослойных диэлектрических покрытий часто приходится сталкиваться с проблемой их старения, что выра­ жается в изменении спектральной прозрачности (отражения) со вре­ менем и, особенно сильно, с изменением внешних условий. Было высказано предположение о связи этих процессов с сорбцией воды пористым слоем во время его хранения. Если бы это было справед­ ливо, то процессы старения должны были бы начинаться в тот мо­ мент, когда покрытие попадает на воздух. В этом случае изменения действительно наиболее сильны, хотя остальные процессы, связан­ ные с изменением структуры пленки, не следует игнорировать. Структура пленки во время роста не равновесна. Переход к равно­ весному состоянию продолжается довольно продолжительное вре­ мя после ее изготовления. Было проведено исследование изменения оптических свойств тонкой пленки сразу после ее изготовления до выноса на воздух. Исследовались пленки сульфида цинка и фторида магния. Более поздние исследования показали, что аналогичная эволюция прозрач­ ности наблюдается для пленок из всех материалов без исключения. Интенсивность изменений зависит от условий изготовления пленок, т.е. от давления остаточных газов, температуры подложки, скорос­ ти роста пленки и т.д. Это означает, что полученная картина явля­ ется общей для всех пленок. Исследования проводились следующим образом. Рост пленки контролировался по изменению прозрачности подложки с наноси­ мой пленкой, но по окончании процесса роста наблюдения за изме­ нением прозрачности продолжались. Ход изменения прозрачности 392