Оптические материалы и технологии

8т(47Ш|/2/^ + Д2) = 0. Если все слои системы, нанесенные до рассмат­ риваемого слоя, строго четвертьволновые или рассматриваем нане­ сение только первого слоя, то сдвиг фазы Д2 равен либо О, либо к и экстремум достигается при толщине пленки, кратной четверти длины волны зондирующего излучения. Однако точная фиксация экстремумов для случая многосиойного покрытия, нанесенного пред­ варительно, возможна только в случае, когда абсолютно точно из­ вестен показатель преломления растущей пленки, что позволяет рас­ считать его величину. Когда показатель преломления пленки при точ­ ном измерении ее прозрачности зависит от условий роста, например, через пористость, зависящую от параметров процесса, предваритель­ ный расчет величины экстремума невозможен. В этом случае, оче­ видно, фиксащ1я экстремума возможна только после его прохожде­ ния, т.е. после изменения прозрачности от экстремального значения на некоторую фиксированную величину. Решение(3.71) относитель­ но оптической толщины реально получающейся пленки несложно: Из (3.72) видно, что отклонение оптической толщины конт­ ролируемого слоя от четвертьволнового значения оказывается за­ висящим от точности фиксации перехода через экстремум для всех слоев и от реально получающихся их показателей преломления, Таким образом, ошибки в определении толщин имеют определен­ ную тенденцию к накоплению, что делает задачу точного контро­ ля очень сложной. Математическая модель позволяет, в конечном счете, в каж­ дом конкретном случае выбрать наиболее рациональную систему контроля и, кроме того, сделать предварительные оценки как воз­ можных искажений спектральных свойств оптической прозрачнос­ ти системы слоев, так и при оценке статистического разброса точ­ ности фиксации изменения прозрачности судить о возможных вос­ производимости и повторяемости результатов технологического процесса нанесения системы слоев. Использование этой модели по­ зволяет сразу же сказать, что оптический контроль, т.е. контроль cos (З^г) 2Г,/2 VГ Го j 2/|Г2 39!