Оптические материалы и технологии

где [Xi,A,2]-заданный интервал спектра; То(А,)- прозрачность одной или нескольких пленок, к которой стремимся; Т(Х, К) - прозр ачность при конкретном значении толщины h растущего слоя; т - показа­ тель степени, обычно равный 2. Так как используем определенный спектральный диапазон, необходимо знать наперед дисперсию показателя преломления рас­ тущего слоя и его однородность. Впротивном случае минимум (3.70) может достигаться где угодно, но не обязательно при заданной толщине слоя. Таким образом, в самом методе анализа получающихся опти­ ческих свойств системы растущих слоев заключается и возможность получения ошибочных значений толщин, что при нанесении после­ дующих слоев системы исправить уже не удается. По-видимому, наи­ более перспективным является контроль толщин растущих слоев на одной длине волны, который будет рассмотрен более подробно для оценки его возможностей. Моделирование оптического контроля. Изменение прозрачно­ сти системы пленок на подложке при росте последней пленки наи­ более просто может быть рассчитано при использовании рекуррен­ тных формул Власова. Для системы однородных непоглощающих пленок можно записать: прозрачность одной границы плоскопараллельной подложки с по­ казателем преломления п; - френелевское отражение на наруж­ ной границе растущей пленки с показателем преломления и, и тол­ щиной в момент измерения/г; Гг-френелевское отражение с фазойA j на второй границе растущей пленки с учетом всей ранее нанесен­ ной системы слоев на длине волны зондирующего излучения X. В оптическом контроле фиксируются экстремальные значе­ ния прозрачности полной системы слоев, которые достигаются при (3.71) + А2 ; Го =4и/(1 +«)^-френелевская 390