Оптические материалы и технологии

Таким образом, вся трудность фиксации необходимой толщины плен­ ки и источник ошибок лежат в величине разрешения по уровню про­ зрачности. Именно тут и необходима очень высокая квалификация оператора, наносящего данное покрытие, тем более что при проведе­ нии контроля слоев многослойной системы ошибки будут обязатель­ но накапливаться. Для снижения величины ошибки предлагались различные методики, каждая из которых имела свои преимущества и недостатки и в целом не могла считаться наилучшей во всех случаях. Так, для контроля толщин слоев при изготовлении узкополосных фильтров был разработан так называемый сквозной метод контро­ ля, позволяющий скомпенсировать влияние появляющихся ошибок в толщинах слоев на оптические свойства системы в целом. Кроме этого метода, развивались и другие, аналогичные ему, а также дела­ лись попытки скомпенсировать влияние погрешности измерений. Особые надежды возлагались на фиксацию экстремумов по равен­ ству нулю производной сигнала прозрачности и наблюдение полу­ чаемой спектральной характеристики покрытия в процессе роста сло­ ев. Однако несмотря на хорошую теоретическую проработку метода и наличие некоторых его преимуществ, он все же не находит широ­ кого применения. Рассмотрение же спектральной характеристики покрытия в процессе его роста требует достаточно сложной много­ канальной аппаратуры и значительной расчетной работы. Этот ме­ тод был реализован в промышленных установках A-700Q и А-11OOQ, но может быть использован только при нанесении простей­ ших покрытий по хорошо отработанной технологии. Дело здесь в том, что при проведении контроля на фиксированной длине волны рассматриваем изменение оптической толщины пленки и не очень заботимся о точном воспроизведении ее полных оптических свойств (показателя преломления и однородности по толщине). В случае рас­ смотрения спектральной характеристики в определенном спектраль­ ном диапазоне сигнал прекращения нанесения появляется при дости­ жении минимума выражения: ( 3 . 7 0 ) 389