Оптические материалы и технологии

этом не очень существенна точность фиксации показателей прелом­ ления слоев. При изготовлении амплитудо-фазоизотропных интер­ ференционных зеркал для квантовых гироскопов точность фиксации толщин слоев и показателей преломления оказывается одинаково существенной. Очевидно, что для целей контроля условий осажде­ ния слоев интерференционного покрытия необходимо иметь ка­ кие-то модели и определять значимость того или иного фактора в общей их сумме. В этом направлении возможны два различных пути решения. При разработке конкретного процесса можно использовать методику многофакторного анализа и вариацией условий установить наиболее значимые. Также можно рассмотреть модели влияния усло­ вий изготовления на свойства получаемой пленки и получить немед­ ленно как оптимальное значение условий, так и оценку влияния от­ ступления от оптимума. В ряде работ проведены именно такие конк­ ретные исследования на пленках отдельных материалов и в каждом конкретном случае определен интересующий нас оптимум. Основ­ ными выводами из работ данного направления являются следующие; 1. Оптические свойства диэлектрических пленок оказываются существенно зависимыми от давления неактивных остаточных га­ зов при давлениях р > 10"^ торр. При более низких давлениях зави­ симость практически исчезает. 2. Зависимость оптических свойств пленок окислов от парциаль­ ного давления кислорода в общей сумме давления остаточного газа проходит через оптимум, при этом общее оптимальное давление дол­ жно определяться кислородом и быть на уровне 10"* торр, однако дав­ ление неактивных остаточных газов желательно р < 10 торр. 3. Всегда есть зависимость оптических свойств от скорости ро­ ста пленки, а величины конкретных оптимальных скоростей роста зависят от свойств испаряемого материала. 4. Всегда есть зависимость оптических свойств пленки от тем­ пературы подложки. Конкретные оптимальные величины зависят от свойств материала пленки и подложки и, возможно, от скорости процесса конденсации. Методы измерения толщины пленок в процессе их роста. Тон­ кие диэлектрические пленки для оптики всегда являются интерфе­ 3 8 6