Оптические материалы и технологии

3. Качество подготовки материалов для нанесения покрытий. 4. Качество подготовки подложек для покрытия. Ранее было отмечено сильное влияние флуктуаций толщин сло­ ев на оптические свойства интерференционных покрытий. Вопросы появления флуктуаций в литературе пока не рассматривались. При изучении воспроизводимости и качества технологического процесса этим вопросам необходимо уделить значительное внимание. В настоящей части рассматриваются только некоторые во­ просы контроля толщин слоев и появления в них флуктуаций. Кро­ ме того, из-за большой практической важности специально рассмот­ рен вопрос об автоматизации технологического процесса нанесе­ ния интерференционных покрытий. В течение многих лет производство интерференционных покры­ тий проводилось операторами весьма высокой квалификации, обла­ дающими хорошим чувством технологического процесса. Однако в связи с развитием современного оптического приборостроения рез­ ко возросли как количество оптичеасих деталей с покрытиями, так и требования к высокой точности получаемых спектральных характе­ ристик и широте возможных эксплуатационных воздействий. При обеспечении качества выпускаемой продукции необходим переход к автоматизации вакуумных установок для нанесения интерференци­ онных многослойных покрытий, при повышении чувствительности и точности приборов контроля параметров протекающего процесса. Модельные расчеты, проведенные для просветляющих покры­ тий, показали, что необходимые спектральные характеристики от­ ражения просветляющих покрытий для области спектра 0,8-0,9 и 1,1-1,65 мкм могут быть достигнуты при точности фиксации тол­ щины слоев 10 нм и показателей преломления 0,01. Следует отме­ тить, что необходимая точность фиксации толщины слоев в этих рас­ четах оказалась довольно низкой. При этом допускалось, что все от­ клонения в пропускании невелики. Ранее было указано, что даже небольшие отклонения пропускания одной просветленной поверх­ ности в общей системе, содержащей много поверхностей, приводят к фильтрации излучения. В случае изготовления узкополосных фильт­ ров требуется точность фиксации толщин слоев много выше, но при 385