Оптические материалы и технологии

ных оптических покрытий на оптических элементах (лазерных зер­ кал, узкополосных фильтров и т.д.) обычно используются вакуум­ ные методы нанесения, обладающие хорошей воспроизводимостью результатов, технологичностью и надежным контролем параметров непосредственно в ходе процесса. Как известно, технология получения покрытий сочетаете себе разнообразные операции, связанные с выбором материала подлож­ ки и слоев, подготовкой оптических деталей перед нанесением по­ крытия, подготовкой оборудования для проведения процесса нане­ сения покрытия, самим процессом нанесения покрытия, включаю­ щим в себя оптимизацию режимов нанесения и контроля толщины слоев, а также контроля готовых изделий. Для реализации этих про­ цессов используются различные методы и оборудование, выбор которых определяется требованиями к оптическим и эксплуатаци­ онным характеристикам, а также условиями их производства. При изготовлении многослойных интерференционных покры­ тий на оптических деталях контроль процесса и связанные с ним про­ блемы воспроизводимости и устойчивости технологии были и оста­ ются решающими факторами в определении качества и экономично­ сти производства, особенно, если это производство крупных серий. Существуют четыре основных фактора, определяющих про­ изводственную точность воспроизведения оптических свойств тон­ ких пленок: L Конструкция покрытия, оказывающая влияние на его чув­ ствительность к погрешностям, возникающим во время производ­ ства. Для большинства покрытий оптическая толщина отдельных слоев является параметром, сильно влияющим на их оптические свойства, причем чувствительность к ошибкам в толщинах слоев оказывается очень высокой. 2. Качество оборудования для нанесения покрытий, возмож­ ность контроля и регулирования в процессе нанесения интерферен­ ционного покрытия основных технологических параметров (состав и давление остаточных газов, температура подложки, скорость ис­ парения и состав газовой фазы при испарении, контроль толщины наносимого слоя). 384