Оптические материалы и технологии

Выражения (З.Зб) - (3.39) относятся к одной произвольной точ­ ке поверхности покрытия. Если характерные размеры структуры малы по сравнению с длиной волны, то диэлектрическую проница­ емость можно усреднить по объему, тогда зависимость от положе­ ния оси пропадает, слой оказывается изотропным и мы возвраща­ емся к использованным выражениям. При наличии флуктуаций параметров необходимо усреднение полученных выражений по всей освещаемой части поверхности, что может быть описано интегралом: где под/понимается любое из выражений (3.36) - (3.39), а р(/) - функция распределения параметров I (при этом должно быть учте- направляющих косинусов прямой). Поправки, возникающие за счет анизотропии, существенны и требуют учета при получении покрытий с характеристиками, близ­ кими к предельным значениям. Такими покрытиями оказываются, например, зеркала для кольцевых лазеров или просветляющие плен­ ки. Эллипсометрические измерения, проведенные на пленках окис­ ла циркония, показали, что влияние анизотропии в пленках вполне наблюдаемо и хорошо описывает изменение оптических постоян­ ных в сравнении с массивным материалом. Следует, однако, иметь в виду, что структура пленки, выросшей непосредственно на одной подложке, может не совпадать со структурой пленки из того же материала, полученной в тех же условиях, выросшей на поверхнос­ ти другой пленки или другой подложки. Это означает, что при раз­ работке технологии нанесения пленок необходимо учитывать в каж­ дом случае влияние подложки. Результирующая прозрачность оптического элемента, в кото­ ром на обеих поверхностях подложки находятся многослойные ин­ терференционные покрытия, выражается формулой: (3.40) но очевидное равенство вытекающее из свойств 7 » ГГЧ —fxh J — (3.41) 333