Оптические материалы и технологии
с учетом (2.40) даетi V « 5-10''. Разумеется, реальная величина N значи тельно ниже и определяется рассеянием светана оптических элементах контрольной схемы. Если же поверхность отступает о т з аданной фо рмы , т о р, бу д е т б о л ьше и соответственно в е личина N уменьшится. Наприме р , п р и р | = 0,5 мм и тех же условиях i V « 10^. Заметим, ч т о отношение сигнал/шум можно существенно по высить п р и экранировании небольшой части светового потока, со ответствующей центральной (частй'«нерабочей») зоне контролиру емой поверхности. Т а к им образом, несмотря н а ограниченность дифракционной эффективности амплитудных синтезированных голограмм, даже п р и значительных отступлениях испытуемой оптической поверхности о т з аданной фо р мы удается достичь вполне удовлетворительного д л я практики отношения сигнал/шум в плоскости контроля . ' Точностные возможности метода Как был о показано, погрешность восстановления заданных ас ферических волновых поверхностей с п омощью осевых синтезиро в анных г о л о г р амм с «несущей» не превышает малых долей д л и ны в о л ны А,п р и асферичности в сотни А,. Важно отметить, ч т оп р и этом трудоемкость и точность их синтеза зависят не о т порядка контро лиру емой поверхности, а о т асферичности отраженного от нее вол н о в о г о фронта, причем методика расчета, изготовления и аттеста ц и и г о л о г р амм для контроля асферической поверхности как второ г о , так и высше г о порядка одна и та же. Этим в основном и опреде ляется высокая универсальность голографического метода. Др у г и м источником ошибок п р и контроле асферических по верхностей являются дефекты оптических элементов голографичес к о г о интерферометра. Это, в перв ую очередь, качество объектива, фо рми р ующе г о точечный источник света, а также светоделители и зеркала. Практика показывает, что п р и крутизне конт ролир у емой поверхности д о 20 - 25° нетрудно ограничить эти по г решности до лями А, поскольку диаметры опо рно г о и сигнального пучков ин терферометра невелики ( 1 5 - 2 0 мм). Существенно снизить влияние этих дефектов н а точность контроля можно с п о м ощью дополни 290
Made with FlippingBook
RkJQdWJsaXNoZXIy MTY0OTYy