Оптические материалы и технологии

определяется размер з о ны контролируемой поверхности. Освети­ тельная система измерительного устройства должна обеспечивать близкое кнормальному падение света на рабочую поверхность ПС. Величина зазора между ПС и исследуемой поверхностью мо­ жет быт ь определена п о зависимости A = -N, 2 г д е число интерференционных колец от начала отсчетад о зоны; X, - д л ин а в о л ны измерения, мкм. При этом предполагается, ч т о радиус ПС равен радиусу бли­ жайшей «трехточечной» сферы и контролю подлежит вогнутая по­ верхность. Эта зависимость используется при вычислении зазора на участке поверхности от в е ршины д о зоны, где зазор между по­ верхностью иПС максимальный. В зоне максимального зазора воз­ никает интерференционное кольцо, которое значительноширб при­ мыкающих к нему колец, так называемая широкая полоса. В зонах, расположенных за ши р о к о й полосой, зазор между ПС и исследуе­ мой поверхностью уменьшается, и для определения величины зазо­ р а исполБзуется зависимость Tp^eN* - число колецд о з оны с широкой полосой. При контроле вьшуклых асферических поверхностей широкая по­ лоса возникает в зоне, в которой имеет место контакт ПС с поверхно­ стью. В центральной зоне и на краю зазор будет максимальным. Та­ ким образом, изменение зазора между вогнутым ПС и выпуклой по­ верхностью здесь носит противоположный характер по сравнению с распределением зазора между выпуклым ПС и вогнутой поверхнос­ тью. Поэтому расчет зазоров между выпуклой поверхностью и ПС мо­ жет проводиться п о приведенным зависимостям, но из полученных результатов необходимо вычесть величину максимального зазора. Величины зазоров, полученные на основании измерений, срав­ ниваются срасчетными значениями. Качество исследуемой поверхно­ сти оценивается по разности замеренных и расчетных величин зазоров. Выбор измерительного устройства зависит от крутизны контро­ лируемой поверхности. При малой крутизне (порядка 1 - 2°) измере­ ния целесообразно проводить в прямоугольной системе координат. 268