Оптические материалы и технологии
При контроле гиперболоидов и эллипсоидов вместо зритель ной трубы устанавливается микроскоп. Прибор позволяет также про водить контроль поверхностей высоких порядков, имеющих неболь ши е отступления от сферы или поверхности в т оро г о порядка. Кр ом е п р и б о р а ЮС-51, в лабораториях и оптических цехах используются анало гичные п р иб о ры , выполненные на базе гонио метра ГС-5, и д в о йн о й аберрометр . Источниками оши б о к п р и контроле являются неточность из готовления поворотно г о устройства, несовмещение оси вращения с фокусом поверхности, конечная ширина контролиру емой зоны по верхности, вызывающая усреднение ошиб ок по зоне. Точность из мерения местных ошибок составляет 0,5 мкм, что в у г ловой мере составляет п р и фокусе детали7 5 - 129 мм около 10 угловых секунд, а п р и фокусе 10 - 75 мм - п р им е р н о 20 угловых секунд. 5.9. Интерференционные методы контроля Контроль с помощью сферических и плоских пробных стекол При симметричном наложении сферического п р о б н о г о стек л а (ПС) н а асферическую поверхность возникает интерференцион ная картина в концентрических кольцах с центром, совпадающим с осью поверхности. Положение интерференционных колец однозначно определя ется профилем конт ролир у емой поверхности. Предварительно вы числяется расчетное расположение колец. Качество поверхности оценивается о т отступления фактического расположения интерфе ренционных колец о т расчетного . Радиус сферическогоПС выбирается, как правило, равным ра диусу ближайшей сферы с тем, чтобы зазор между контролируемой поверхностью и ПС был минимальным . Порядок проведения контроля следующий. Центр интерферен ционных колец совмещается с перекрестием измерительного устрой ства, и п о его шкалам определяется начало отсчета. Затем испытуе мая деталь с наложенным ПС перемещается относительно измери тельно г о устройства. В процессе измерения подсчитывается число колец, переместившихся относительно перекрестия, а п о шкалам 267
Made with FlippingBook
RkJQdWJsaXNoZXIy MTY0OTYy