Оптические материалы и технологии

в этом случае измерительным устрой­ ством может служить универсальный изм[ерительный микроскоп т и п а УИМ-21, оборудованный дополни­ тельным осветителем (рис. 2.121). Осветитель, состоящий из ис­ точника света 8, диафрагмы 7, кон­ денсора б, объектива 5 и светофильт­ ра 4, формирует параллельный пучок света, который направляется вдоль оси измеряемой поверхности. Ин­ терференционные кольца, возника­ ющи е в воздушном промежутке меж­ д у ПС 2 и деталью 7, рассматрива­ ются с помощью наблюдательной си­ стемы универсального микроскопа 3. Пр и крутизне контролируемой поверхности, большей 2°, измерения 2 Рис. 2.122, Принципиальная схема полярного интерферометра Рис. 2.121. Схема контроля с помощью сферического пробного стекла на универсальном микроскопе в прямоугольной системе ко­ ординат приводят к ошибкам, возникающим из-за перефоку­ сировки наблюдательной сис­ т емы ми к р о с к о п а . К р о м е того, условие нормального па­ дения света на рабочую повер­ хность ПС нарушается здесь в такой мере, ч т о возникают недопустимые ошибки в опре­ делении величины зазора, По­ этому в данном случае целесо­ образно проводить измерения в полярной системе коорди­ нат. Измерительным устрой­ ством в этом случае служит п о л я р ный ин т е рфе р оме т р , принципиальная схема кото­ ро г о показана на рис. 2.122. 269