Оптические материалы и технологии

рического устройства, трансформирующе го ее неравномерную ос­ вещенность в крив ую, характеризующую ошибки контролируемой поверхности. Результаты выдаются в виде соответствующих кри­ вых на экране осциллографа. Сначала получается кривая, характе­ ри з ующая отступления профиля в угловой мере, затем ее интегри­ ров ание д а е т к р и в ую линейных отступлений. До с т оин с т в а метода : высокая точность замеров - д о Х,/80 (здесь X - д л и н а в о л н ы измерения, мкм) и наглядность результа­ тов; недостаток - необходимость применения специальной слож­ н о й электронной аппаратуры. 3. Применение компенсационных объективов Компенсационные объективы применяются при контроле точ­ ных асферических поверхностей высоких порядков в тех случаях, к о г д а параметры поверхности (асферичность, градиент асферично­ сти, световой диаметр) н е позволяют использовать универсальные методы контроля, например , интерференционный - спомощью сфе­ рических пробных стекол. Кр ом е того, компенсационные объекти­ в ы применяются п р и контроле крупногабаритных деталей с повер­ хностями в т о р о г о порядка, ко г да схемы с использованием анабер- рационных точек н е мо г у т быть реализованы. Компенсационные объективы представляют собой оптические системы, которые в совокупности с контролируемой поверхностью формир уют сферический или плоский волновой фронт при отсут­ ствии оши б о к изготовления поверхности. Пр и проведении технологического и окончательного (аттес­ тационного) контроля желательно, чтобы контролируемая поверх­ ность п р и установки ее в контрольную схему работала как отража­ ющая, так как при этом ошибки изготовления поверхности могут быть оценены непосредственно, без влияния неоднородности мате­ риала изделия, а также погрешностей изготовления и расположе­ ния в т орой поверхности. В этом случае выходящие из компенсаци­ онно г о объектива л у ч и д о лжны совпадать с соответствующими нормалями к поверхности и вследствие этого после отражения идти в обратном направлении, совпадающим сэтими нормалями. Схема контроля, таким образом, является автоколлимационной. Компен­ сационный объектив в этом случае образует волновой фронт, форма 264