Оптические материалы и технологии

которого совпадает срасчетной фор- _1_ мой контролируемой поверхности. Схема контроля с формирова­ нием сферического фронта приве­ дена на рис. 2.119. Расходящийся пучок света о т т о ч е ч н о г о и с т о ч н и к а 3, п р о й д я к о м - Рис. 2.119. С.чема теневого конт- пенсационный объектив 2, условно роля с линзовым компенсатором изображенный в виде одиночной линзы, падает.на контролируемую поверхность 1 и, отразившись в обратном направлении, собирается вблизи источника света. Здесь же располагается ножФуко 4. Схема может быть использована как рабочая ветвь неравноплечего интер­ ферометра.При этом передний фокус микрообъектива должен быть совмещен с положением, которое занимает источник света. Замер аберраций компенсационных объективов представляет значительные трудности, так как они имеют такие же большие ве­ личины, как и аберрации контролируемых с их помощью поверх­ ностей. Более доступен контроль точности изготовления - провер­ ка их конструктивных параметров. Поэтому конструкция компен­ сационных объективов должна быть по возможности простой, со­ держать минимальное число элементов и исключать сильное влия­ ние их взаимного расположения. Кроме того, для оценки качества расчета и изготовления компенсационный объектив желательно комплектовать оптической приставкой, в совокупности с которой он формирует плоскийили сферический волновой фронт. Оптичес­ кая приставка, как и компенсационный объектив, не должна содер­ жать элементов с асферическими поверхностями. Необходимо подчеркнуть, что сложность расчета и изготовле­ ния компенсационных объективов, а также необходимость создания нового компенсационного объектива для каждого типа поверхности делают целесообразным их применение лишь в случае, когда исполь­ зование более универсальных методов невозможно. Особое значение приобретают компенсационные объективы, например, при контроле точных поверхностей высоких порядков сбольшой асферичностью. В связи с трудоемкостью контроля, основанного на примене­ нии компенсационных объективов, в серийном производстве этим 265