Оптические материалы и технологии

5.7. Контактные методы контроля Контактные (или, как их часто называют, механические) ме­ тоды контроля наименее точны и применяются обычно для предва­ рительного (технологического) контроля асферических поверхнос­ тей, когда последние находятся еще на стадии шлифования. Невысокая точность измерений объясняется здесь не только недостаточной прецизионностью измерительных устройств, но и самим принципом измерения; оценивается не вся поверхность, а только величина стрелок прогиба в отдельных ее зонах. (При изме­ рении асферическими шаблонами такого недостатка нет, но этот метод является более грубым из-за неточности самих шаблонов и субъективности оценки при их применении.) Контроль накладными кольцами Наиболее распространенный из контактных методов связан с применением калиброванного кольца, снабженного стрелочным ин­ дикатором. К достоинствам метода следует отнести простоту изме- рительноого устройства и несложность связанных с его применени­ ем вычислительных и контрольных операций. Однако некоторая неопределенность форм базовой поверхно­ сти калиброванного кольца и мерительного наконечника, которая практически всегда имеет место, приводит к неопределенности то­ чек их касания с асферической поверхностью, что значительно (до .5-10 мкм) снижает точность измерения. Применение шарикового сферометра Более высокую точность можно получить на сферометрах ИЗС-7 и ИЗС-8, имеющих прецизионные базовые поверхности более оп­ ределенной геометрической формы. Ошибки измерения в этом слу­ чае не превышают 1-2 мкм. Как и в случае сферических поверхностей, при использовании |)ерометра для контроля асферических поверхностей необходимо редварительно рассчитать стрелки прогиба. Расчетные стрелки атем сравниваются с измеренными, и по величине их несовпадения удят о точности обработки поверхности. 256