Оптические материалы и технологии

формы профиля штрихов проводят с помощью интерференционных микроскопов (при пространственных частотах исследуемых образ­ цов до 600 мм"')> электронных, растровых туннельных и сканирую­ щих зондовых микроскопов (свыше 600 мм"'). У дифракционных решеток (матриц и копий) контролируют­ ся следующие оптические и спектральные параметры, приведен­ ные в табл. 2,10. Таблица 2.10 № п/п Наименование контролируемых параметров Технические требования Наименование оборудования Точность измерения 1 Размеры решетки и за­ штрихованной поверхно­ сти ОСТ3 - 4 0 1 3 - 7 8 Линейка + 0, 5 мм 2 Рабочие порядки спектра ОСТ3 - 4 0 1 3 - 7 8 Спектрограф Визуально 3 Разрешающая способ­ ность в рабочих порядках спектра ОСТ3 - 4 0 1 3 - 7 8 Спектрограф Визуально 4 Качество спектральных линий в рабочих порядках спектра ОСТЗ-4013-78 Спектрофаф Визуально 5 Коэффициент отражения в максимуме концентрации ОСТЗ-4013-78 Установка спектральная и монохроматор ± ( 4 - 5 ) % 6 Угол «блеска» ОСТ3 - 4 0 1 3 - 7 8 Установка для визу­ ального определе­ ния положения максимума концен­ трации дифракцион­ ных решеток ± 1 0% 7 Отклонение угла «блеска» или длины волны с максимальным коэффи­ циентом отражения от номинального значения ОСТ3 - 4 0 1 3 - 7 8 Установка для визу­ ального определе­ ния положения максимума концен­ трации дифракци­ онных решеток + 1 0% 8 Относительная интенсив­ ность «ду)(ов» Роуланда ОСТ 3 - 4 0 1 3 - 7 8 Приставка к спектрографу « 6 % 9 Относительная интенсив­ ность «ду^ов» Лаймана ОСТ3 - 4 0 1 3 - 7 8 Спектрограф < 6 % 10 Де(})екты заштрихованной поверхности (царапины, надиры, пропуск штрихов) ТУ АД0.721.000 - Визуально 169