Оптические материалы и технологии

при исследованиях геометрических параметров микрорелье­ фа дифракционной решетки используется, в основном, следующее контрольно-измерительное оборудование: - профилометр-профилограф; - микроинтерферометр; - микроскоп для контроля поверхностных дефектов; - сканирующий зондовый микроскоп. Охарактеризуем принципы их работы. Профилометр-профи­ лограф предназначен для измерения в лабораторных условиях ше­ роховатости и волнистости поверхности изделий, сечение которых в плоскости измерения представляет прямую линию. Действие про- филометра-профилографа основано на «ощупывании» неровностей исследуемой поверхности алмазной иглой датчика и преобразова­ нии возникающих колебаний щупа в электрические сигналы, про­ порциональные этим колебаниям. Используется для контроля ка­ чества микрорельефа оптических элементов среднего инфракрасного диапазона (по высоте: 0,2 мкм - 500 мкм). Микроинтерферометр предназначен для визуальной оценки, измерений и фотографирования высоты неровностей обработанных поверхностей, а также для фотографирования поверхности и ее ин- терферограммы. Серийно выпускаемые в России на ЛОМО (г. Санкт-Петербург) микроинтерферометры Линника (типа МИИ-4) обеспечивают измерение высот в пределах от 0,1 мкм до 8 мкм. В поле зрения микроинтерферометра одновременно видны интер­ ференционные полосы и измеряемая поверхность. Искривление ин­ терференционной полосы на величину, равную расстоянию между соседними светлыми (или темными) полосами (на один период), означает изменение микрорельефа поверхности на Л/2. Микроскоп для контроля поверхностных дефектов (МКД-Р) используется для визуального контроля дефектов поверхностей под­ ложек и микрорельефа дифракционных решеток. Сканирующий зондовый микроскоп (СЗМ). В настоящее время исследования геометрических параметров дифракционных решеток проводятся не только с помощью оптических микроскопов, но и элек­ тронных, растровых туннельных, атомных силовых и сканирующих зондовых микроскопов. Остановимся на работе СЗМ подробнее. 170