Оптические материалы и технологии

ционная картина взаимодействия контрнаправленных пучков регис­ трируется в слое Б виде слоистой структуры, которая после проявле­ ния представляет собой структуру штрихов пилообразной формы. Рис. 2.72. Оптическая схема установки дпя записи плоских решеток с пилообразной формой штрихов Штрихи пилообразной формы эквивалентны штрихам нарез­ ной решетки, имеющим угол «блеска». Частота штрихов и угол «блес­ ка» таких решеток определяются преимущественно показателями пре­ ломления светочувствительного слоя и углом между контрнаправ­ ленными пучками. Причем последний зависит от преломляющего угла оптического клина и показателя преломления стекла, из которого он изготовлен. Возможности данного метода можно расширить, при­ меняя источники с более длинноволновым излучением и светочув­ ствительные материалы с требуемым значением показателя прелом­ ления, По этому принципу могут быть реализованы ГДР и на сфери­ ческих подложках. При этом контрнаправленные пучки должны фор­ мироваться с помощью объективов или сферических зеркал. 3.5.5. Технологическая контрольно-измерительная аппаратура Установка контроля процесса проявления. Функциональные возможности установки контроля процесса проявления (УКПП): • контроль образования рельефа (его глубина и форма) ГДР в процессе проявления; 163

RkJQdWJsaXNoZXIy MTY0OTYy