Оптические материалы и технологии

•измерение дифракционной эффективности решеток на дли­ нах волн лазерного излучения с 5- и Р-поляризацией; • исследование угловых аномалий решеток. Основные технические характеристики УКПП: • интервал времени поиска экстремума 5 - 40 с • инерционность прибора при контроле экстре­ мума 1 с, не более • диапазон частоты штрихов контролируемых решеток . 300 - 3600 мм "' • размеры контролируемых образцов решеток 150х 150 мм, не более • потребляемая мош,ность 1300 Вт • диапазон измерения углового падения света на решетку 15-18 град • спектральная область измерения дифракционной эффективности ГДР 457,9; 488,0; 514,5 нм • размеры установки 940х 1520х 1680 мм Оптическая схема установки приведена на рис. 2.73, где i и 2 - лазеры; 3,4,7- зеркала; 5 - призма Френеля; б - светоделитель; 8 и 9 - фотоприемники; 7 0 - гониометр ГС-5; П ~ кювета с проявляю­ щим раствором; 12 - заготовка с экспонированным слоем (решет- /V Рис, 2,73. Оптическая схема установки контроля процесса проявления 164