Оптические материалы и технологии

геновского, ультрафиолетового и видимого диапазонов спектра (или просто дифракционные решетки) и дифракционные решетки для инф­ ракрасного диапазона спектра, называемые эшелеттами, у которых штрихи имеют ступенчатый профиль. Промежуточное положение за­ нимают дифракционные решетки-эшелле. По пространственной часто­ те штрихов они ближе к эшелеттам, но используются в ультрафиолето­ вом и видимом диапазонах спектра (от 200 до 750 нм). Типовые решетки-эшелле отечественного производства име­ ют пространственные частоты v= 600, 300,75 и 37,5 ММ"'. Угол «блес­ ка» вблизи 63,5°. Свободная спектральная область у решеток-эшелле значительно меньше, чем у просто дифракционных решеток для низких порядков спектра, и составляет при v = 37,5 мм около 5 нм. Эшелле способны за одну экспозицию зарегистрировать очень широкий участок спект­ ра свысокой дисперсией и разрешением. Например, разрешение эшел­ ле шириной 250 мм с углом «блеска» 63,5° приближается к миллиону. Основной проблемой изготовления решеток-эшелле является получение штрихов заданного профиля с высоким качеством отра­ жающих граней и устранение ряда технологических дефектов. Эти трудности возрастают с уменьшением частоты штрихов. Изготов­ ление решеток-эшелле с V = 37,5мм"' требует наличия алюминиевых слоев с толщиной до 15 мкм. Нагрузка на алмазный резец при этом составляет сотни граммов, что нарушает устойчивость работы рез­ цового механизма. Для получения высокой отражающей способности эшелле при больших углах «блеска», помимо высокого качества отражающих граней штрихов, необходимо, чтобы угол между гранями штриха был приблизительно 90°. Это позволяет избежать экранирующего влияния нерабочей грани штриха.. При использовании алмазного резца с углом около 90° возни­ кают очень большие усилия на него, приводящие к вибрациям ин­ струмента, появлению сильно выраженных полос и косых царапин, а также местным ошибкам в виде срывов. Кроме того, для получения таких решеток-эшелле требуются слои, толщина которых приблизительно в два раза больше глуби­ ны штрихов. 135