Оптические материалы и технологии

Заготовку покрывают с помощью вакуумного напыления алю­ минием, медью, серебром, золотом. Толщина покрытия составляет примерно 1/3 от величины шага решетки и одновременно в большинстве случаев слой на 15% (до 20 %) превосходит заданную глубину штриха, что автоматически огра­ ничивает проникновение резца в материал подложки (в стекло). Алюминиевые слои обладают хорошими отражательными свойствами, высокой структурной однородностью слоев, пластич­ ностью, хорошей адгезией к стеклу. Однако при соприкосновении алюминия с воздухом на поверхности заготовки образуется пленка оксида алюминия, обладающего высокой твердостью. Наличие этой пленки является основной причиной износа алмазных резцов. Альтернативой алюминию являются золотые покрытия, кото­ рые не образуют оксидов, поэтому меньше изнашивают резцы. Для лучшей адгезиирабочих металлических пленок (особенно это касается золотых пленок) подложки сначала очищают химичес­ ким способом, а затем покрывают их тонким слоем хрома и только потом напыляют алюминий или другой металл. Некоторые типы решеток для вакуумной ультрафиолетовой об­ ласти нарезаются непосредственно на стекле Ф1, которое имеет срав­ нительно высокий коэффициент отражения в указанной области спек­ тра и достаточно пластично для получения на нем штрихов ступен­ чатого профиля при небольших углах наклона рабочих граней. 3.4,4, Особенности технологии изготовления зшелеттов и эшелле Эшелетты для средней и далекой инфракрасной областей спек­ тра нарезаются на металлических заготовках. Для этих целей ис­ пользуют алюминиевые сплавы и электролитические слои меди, на­ несенные на латунные подложки. Данные материалы обладают от­ носительно однородной структурой, малой твердостью, высокой пластичностью и могут быть приведены в стабильное состояние тер­ мической обработкой. Рабочие поверхности заготовок обрабаты­ ваются с точностью не ниже 1/8 минимальной длины волны рабо­ чей спектральной области эшелетта. По назначению спектральные дифракционные решетки подраз­ деляются на две основные группы: дифракционные решетки для рент­ 134