Оптические материалы и технологии

Для преодоления указанных технологических трудностей ста­ ли изготавливать решетки-эшелле, у которых угол между гранями штрихов меньше 90°. При этом штрихи выполняются на неполную глубину, а нарезанная решетка копируется. Для исключения после копирования экранирующего влияния второй грани штрих доста­ точно выполнять приблизительно на 0,7 от шага решетки е при ус­ ловии, что угол при вершине резца равен 80°, а угол «блеска» - 63,5°. Вершина штриха, имеющая неправильную форму, в результате об­ ращения структуры матрицы при копировании становится впадиной и не мешает прохождению пучка, отражающегося от крутой храни. Практика режимов резания и копирования показала, что коэффи­ циент отражения у эшелле-матриц не превышает 20 - 30 %, у эшелле- копий (нечетного поколения) в некоторых случаях достигает 70 %. Ре­ зультат не очень зависит от степени выполнения штриха. Достаточно высокое отражение получается при О,бе и 0,8е, гдее - шаг эшелле. В табл. 2.8 приведен пример технических требований, предъяв­ ляемых к решетке-эшелле. Таблица 2.8 № Параметр п/п наименование значение 1 Число штрихов на 1 мм 75 ±0,01 2 Размеры подложки, мм 120±0,1 60 ±0,1 20 ±0,1 3 Материал подложки Стекло кварцевое 4 Заштрихованная поверхность, мм: вдоль поперек > 55 > 115 5 Центрировка заштрихованной поверхности на подлож­ ке, мм ±1 6 Непараллельность штрихов относительно края решет­ ки, град ±1 7 Угол «блеска», град 64,2 ± 0,3 8 Материал покрытия Алюминий 9 Относительная эффективность в «блеске» по отноше­ нию к эталонному зеркалу с эффективностью 82 % на длине волны: 300 им 220 нм 190 нм >60 >50 >45 36