Оптические материалы и технологии

дения на бумажном экране наблюдаются вертикальные линии, соот­ ветствующие В0Л1ЮВ0ДНЫМ модам. При измерении диффузионног'о волновода и пленки полиэфирной смолы момент возбуждения фик­ сируется по вспышке яркого пятна на торце образца. Зафиксировав момент возбуждения моды определенного порядка, проводим отсчет по отсче'1'ному устройству гониометра. Затем измеряем угол норма­ ли к рабочей грани призмы. При этом отсчет снимается в момент, когда отраженный луч совпадает с падаюнщм по автоколлимацион­ ной схеме измерения. Углы выхода ф; лучей, соответствующих волноводным модам, определяются как разность этих двух отсче­ тов. Каждый образец измеряется по 20 раз, т.е. 20 раз образец от­ крепляется и вновь прижимается к призме, вновь устанавливается на гониометре. В табл. 3.3 приведены доверительные интервалы для углов, показателей преломления и толщин для всех волноводов. Таблица 3.3 Сводная таблица погрешностей измеренных иарамстрои пленок нолиоводными методиками Пленка Дф/Х10"^, град. А(р,ед,х10'\ град. ДнгхЮ""^ Д/|, мкм Дпг ед. хЮ "* ДЛ од, мкм ТагОз (двухмод.) Дфп = ±1,16 Дф1 = ±2,46 Дфп=+5,18 Дф1 = ±11 ±4,7 ±1,83'10-' ±2.26 +8,12. Ю"* Диффузионный волновод (на гопиомсгфе) Афо = ±8,26 Дф4 = ±6,34 Дф1 = ±3,69 Дф4 = ±2,84 Днп* = +5,2 Лп/ = ±4,1 - Дяо* - ±2,3 Д«4* = +1.82 - ПЭС (1Ш реф­ рактометре) Дф о ° + 8 , 8 3 Дфз =±3,95 Aq)(i = ±3,5 Дфз = ±1,56 ±50 ±8-10-' +22,3 +5,5 Точность измерения выраясается интервалом, в котором с веро­ ятностью Р, равной 0,9, находится суммарная погрешность измерения показателя преломления и толщины пленки. Показатель преломления пленки Й2 в этой схеме измеряется с погрешностью не более 0,001, толщина пленки измеряется с погрешностью 0,007 мкм. Расчет параметров пленок. Волноводные измерения - это кос­ венные измерения. Измерению подлежат углы ввода^вывода (ф,), по значениям которых вычисляют параметры пленки. Исходными дан­ ными для разработки методик расчета модовых постоянных рас­ пространения и параметров пленок (толщины, показателя прёломле- 433