Оптические материалы и технологии

Таблица 3.2 Технические xapaic i ерис гики станков для нанесения химических иокрыпш Параметр СП­ ИМ СП- ЗОУ СП- 150М с и - 150У СП- ЗООМ CU- ю о о м Диаме'1'p подложки, мм 3-25 3-30 20-150 30-150 150-300 300-1000 Частота вращения шпинделя, с"' 100- 300 100- 300 16,7- 100,0 16,6- 100,0 8,3-41,6 1,7-23,3 Способ подачи раствора Вручную Дозатором Вид крепления подложки В вакуумном или меха1шчсском патроне Потребляемая мощность, кВт 0,66 1.5 1,6 2,5 ' 1,6 6,3 Габаритные размеры, мм: длина ширина высота 1100 600 1050 900 800 1250 1300 1010 1170 1200 900 1250 1160 1090 1170 3700 2660 3600 Масса, кг 230 830 900 1040 1150 4600 Контрольные вопросы 1. Назначение вакуумного оборудования. 2. Методы нанесения покрытий с помонцло вакуумных уста­ новок. 3. Основные технические характеристики вакуумных устано­ вок для нанесения покрытий методом электронно-лучевог'о и рези- стивиого испарений. 4. Основные технические характеристики вакуумных устано­ вок для нанесения просветляющих и зан^итных пoIqзытий. Глава 5. Методы и средства контроля характеристик оптических покрытий 5.1. Волиоводиые методы измерения параметров тонких пленок 5,1.1. Свойства воли в оптических волноаодах Тонкие диэлектрические нлепки как интегрально-оптические (ИО) волноводы используются для ограничения и направления света 423