Оптические материалы и технологии

шает равномерность образующейся пленки по толщине на повфх- иости подложки. Горячая камера печи, в целях безопасности опера­ тора, отделена от окружающего пространства и камеры распыле­ ния шиберными заслонками 4 и 15. Рис. 3.23. Схема полуавтоматической установки папесспия токопроводящих покрытий аэрозольным методом: 1 -•попоротая карусель с шестые шпинделями; 2 - подлонска (оптическая деталь); 3 - кольцспая печь; 4,15- заслонки; 5 - позиция съема и установки подложки; 6 - позиция распьшепия раствора иа подложку; 7 - струя аэрозоля; 8 вытяжная труба; 9, 11 - кривошиппо-шатуршыс механизмы; ^О -камерараспылсиия; 12, 73- подиимсныекаретки; 7-?-форсунка Время напыления пленкообразующего раствора составляет от 3 до 18 секунд. Частицы раствора, не попавшие на подлол (КИ, отса­ сываются через специальные вентиляционные отверстия и трубу 8. 3.3, Травление Суть процесса травления заключается в том, что поверхность детали, изготовленной из стекол, содержащих кремнезем Si02, об­ 410