Оптические материалы и технологии

прочностью; недостатки: отсутствие контроля толщины пленки но время нанесения покрытия, наличие потеков на деталях нскруглой формы, необходимость создания стабильных клима тических усло вий в производственном помен1ении (температура 22 °±1 °С, отно сительная влажность 50±5%), 3.2. Аэрозольный метод Данный метод применяется для получения прозрач1Пэ1х токо- проводящих пленок в результате распыления пленкообразующего раствора на нагретую подложку (деталь). Пленкообразующий ра створ содерл(ит: этиловый спирт, соляную и фтористо-иодородпую кислоты и хлорное олово. Оборудованием для осуществления процесса получения про зрачных токопроводящих пленок является полуавтоматическая ус тановка роторного типа (рис. 3.23), состоя1Щ1я из кольцевой печи 3 для нагрева подложек (деталей) 2, поворотного рабочего стола 7 карусельного типа с шестью птинделями, имеющими ириснособ- лепия для крепления подложек, а таюке камеры распыления J0 с форсункой 14 для напыления аэрозоля. Рабочий стол поворачива ется на 1/6 оборота за один цикл напыления. Устанопка имеет спе циальное открытое окно для работы оператора, через которое он снимает и сразу загружает стеклянную подложку со шниндезгя 5 ус тановки, которая при выполнении данной операции невралщется. Шпиндели с подложками 2, находящиеся внутри кольцевого кана ла электронагревательной печи 3 между заслонками 4 и 15, и про цессе разогрева вращаются со скоростью 30 об/мип для обеспече ния равномерности нагрева подложек (деталей). Далее нагретая подлолска поступает в камеру распыления 10 и подвергается обра ботке струей п л е и к о о б р а з ую1 ц е г о раствора, распыляемого форсун кой 14. Форсунка закреплена на.двух подвижных каретках 12 и 13, которые совершают возврат1Ю -поступательныепереме1цепия в двух взаимно-перпендикулярных направлениях от кривоггшгню-татуп- ных механизмов 9, 11 с разным числом качаний в минуту. Враще ние подложек и движение форсунки под действием возвратно-ио- ступательных перемещений подвижных кареток значитезп.по улуч 409