Оптические материалы и технологии

При загрузке и выгрузке напыляемых деталей колпак поднима­ ется и отводится в сторону, освобождая подколпачное пространство для работы оператора. Кварцевые лампы 22 с рефлекторами 27 обес­ печивают нагрев подложек (деталей) до температуры Т = 100 - 350°С перед напылением пленок. В верхней части колпака установлен ос­ ветитель 23 фотометрического устройства. Нагрев подложек улучшает адгезию и увеличивает механичес­ кую прочность пленки. Резиновый уплотнитель 6 служит для гер­ метизации места стыка колпака с рабочей плитой установки. Напыляемые подложки 2 и образец-свидетель 24, служащий для контроля толщины пленки в процессе напыления, устанав­ ливают в отверстия приспособления 3, вращающееся с частотой 2 0 - 100 об/мин на роликовых опорах. Привод вращения приспо­ собления осуществляется через конический ролик 5 и бесконтак­ тную электромагнитную муфту 8, расположенную на рабочей плите установки. Система откачки воздуха состоит из форвакуумного насоса 15 предварительной откачки, высоковакуумного насоса 11, ловушек трубопроводов и системы клапанов. Для разгерметизации метал­ лического колпака по завершении процесса напыления служит кран- натекатель 17. Технологические операции нанесения покрытия в вакууме 1.Подготовка вакуумной установки к работе. Процесс подго­ товки к работе включает очистку внутренней полости колпака от загрязнений, влаги и адсорбированных газов. На стенках колпака и плите напыляется пористый слой пленкообразующих веществ. Внутреннюю поверхность колпака и плиту необходимо периоди­ чески очищать. Кроме того, внутрь колпака и над плитой ставят съемные экраны 4 из коррозионно-стойкой стали небольшой тол­ щины, которые периодически снимают и промывают в кислоте для удаления напыленного слоя. 2. Загрузка пленкообразующего вещества. Процесс загрузки вещества осуществляется в специальные металлические контейне­ ры-испарители объемом порядка 0,2 - 3 см^ (рис. 3.22). 404